美国SVT公司NanoFab MBE分子束外延系统
产品名称： 美国SVT公司NanoFab MBE分子束外延系统
英文名称： MBE
产品编号： SMART-50,100
产品价格： 0
产品产地： 美国
品牌商标： SVTA
更新时间： null
使用范围： null
北京中精仪科技有限公司
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美国SVT公司NanoFab MBE分子束外延系统
SVT 公司生产的SMART NanoFab MBE 具有体积小容量大的优点。
小型超高真空腔室包含沉积源端口以及工艺监控仪器端口。
装载室可以盛放多个样品，便于在超高真空环境下操作样品。
集成电子控制柜以及烘烤系统使操作系统非常简便。
通过RoboMBE软件，实现工艺操作自动化。
可配4个热蒸发源。
可以配备其他类型的源。
应用
● III-V，II-VI，II-氧化物，III-氮化物以及其他材料
● 需MBE技术及其它生长技术共同生长的材料
沉积源和监控仪器
● 热蒸发源
● 单坩埚以及多坩埚电子束蒸发源
● RF等离子体源
● 激光器烧蚀源
● 溅射源
● 气体入射源
● RHEED以及RHEED分析软件
● AccuFlux 在线工艺监控仪
● QCM石英晶振速率监控仪
● 线性束流监控仪